适用于洁净室内大型重物的搬运。***大负载重达165KG,洁净度达到ISO6级。
洁净室搬运机器人
负载:165KG
动作范围:2650mm
控制柜:DX100
用途:搬运、半导体、洁净室 安川机器人MCL165特点及参数
大负载:165KG
大动作范围:***大水平伸长达2650mm,动作***大高度达3130mm。
洁净度达到ISO6级,可实现高度柔性的系统布局。
*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保整个洁净室的洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。
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安川机器人