安川机器人 SEMISTAR-VD95D 双腕玻璃基板搬运机器人

安川机器人SEMISTAR-VD95D

适用于真空环境内***大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人！
双腕玻璃基板搬运机器人
负载：95KG
动作范围：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室

安川机器人SEMISTAR-VD95D特点及参数

大动作范围：***大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
手臂采用连杆机构实现高钢性。
采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线。

*1：动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时，会影响动作节拍，请重新设定。
*2：依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。