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| important;">系列 | important;">流量特性 2→3（OUT→EXH） C［dm3/（ sbar）］ |
important;">流量特性 2→3（OUT→EXH） b |
important;">流量特性 2→3（OUT→EXH） Cv |
important;">消耗 功率 （W） |
important;">可真空使用 |
|---|---|---|---|---|---|
| important;">VP3145 | important;">26 | important;">0.35 | important;">7.0 | important;">12 | important;">－101.2kPa |
| important;">VP3165 | important;">有效截面积： 330mm2 |
important;">有效截面积： 330mm2 |
important;">有效截面积： 330mm2 |
important;">12 | important;">－101.2kPa |
| important;">VP3185 | important;">有效截面积： 670mm2 |
important;">有效截面积： 670mm2 |
important;">有效截面积： 670mm2 |
important;">12 | important;">－101.2kPa |
