安川 SEMISTAR-VD95D 自动化

适用于真空环境内搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人！

双腕玻璃基板搬运机器人
负载：95KG
动作范围：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室

大动作范围：搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
手臂采用连杆机构实现高钢性。
采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线。

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