山武azbil纠偏传感器K1G-S07

山武azbil 原日本YAMATAKE 高精度位置检测传感器 K1G系列

型号：K1G-C04 K1G-C04E K1G-S07 K1G-S15

主要特点：

1、薄膜厚度检测：控制器可接4组传感器，在多个位置实现同步检测，从而实现检测的准确性。

2、晶圆对准：可高精度检测透明度高的玻璃晶圆和砷化镓晶圆。

3、薄膜纠偏检测：利用控制器的演算功能，采用2组传感器可同时实现纠偏检测和薄膜宽幅检测。

4、玻璃基板的异常判断：250μs的响应速度，不遗漏输送状态中的任何玻璃基板异常，配备事件记录功能。

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