MFS2500D
实现洁净室内多层第8代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!
大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:60KG
动态范围:2300mm
控制柜:DX100
用途:搬运、洁净室
特点
适用于第8代(2200*2500mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运,提高生产效率。
高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度,降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。
*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。