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[VIP第6年] 指数:4
通过认证
SEMISTAR-VD95D
适用于真空环境内*大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人！
双腕玻璃基板搬运机器人
负载：95KG
动态范围：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室
特点
大动作范围：*大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
手臂采用连杆机构实现高钢性。
采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线。
*1：动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时，会影响动作节拍，请重新设定。
*2：依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。
