川崎NT系列机器人 用于半导体、有机EL、LCD面板、太阳能面板

应用:

• 无尘室
• 卓越的伸展距离
  单个的NT系列手臂可以伸展到四个FOUP。选配的线性轴可以增加FOUP*多到五个。
  高吞吐量
  标准NT机器人的吞吐量是用校准器280晶圆每小时（WPH）与不用校准器400WPH。可用选配的抓手，增加吞吐量到700WPH。
  SEMI F47合规
  NT型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。
  SEMI S2合规
  NT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。
  碰撞检测
  软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。
  悬挂式安装
  NT620型号具有吊装规格设计，用于在化学液体环境中使用，同时满足ISO1级的要求。