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通过认证
借由串珠状活性碳之三次元纤维构造，可以减低压力损失并高效率去除气体，得以更进一步实现LSI之超微细加工所需要的清净化。
内容
选用化学滤网(Chemical Filter)
改善被污染分子的无尘室
长期性能确认试验数据介绍
GIGASORB规格
外型尺寸
590x1080x100mm
GIGASORB
220mm x 3层
(A,L,C各一层)
接触时间
0.037秒 X 3
(0.11秒)
外框
铝材
ULPA规格
外型尺寸
610x1220x85mm
效率
>99.9995%
滤材
硼矽酸盐玻璃纤维
型式
迷你折叠标准品
检查
用Clean Silica粒子扫瞄
