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SJ6000激光干涉仪性能特点：
1.测量精度高、速度快，稳定性好
①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。
③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。
SJ6000激光干涉仪功能：
SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、分辨力高等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析。
在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。
SJ6000激光干涉仪技术参数：
系统性能
? 测量方式：单频
? 稳频精度：0.05ppm
? 动态采集频率：50 kHz
? 预热时间：约6分钟
? 工作温度范围：(0~40)℃
? 环境温度范围：(0~40)℃，环境湿度：(0~95)%RH
? 存储温度范围：(-20~70)℃
环境补偿示值误差
? 空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
? 材料温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
? 空气湿度传感器：±6%RH (0~95) %RH
? 大气压力传感器：±0.1kPa
线性测量
? 测量距离：(0~40)m
? 测量精度：0.5ppm (0~40)℃
? 测量分辨力：1nm
? 测量*大速度：4m/s
角度测量
? 轴向量程：(0~15)m
? 测量范围：±10°
? 测量精度：±(0.04%R)″ (R为显示值，单位：″)
? 测量分辨力：0.1″
平面度测量
? 轴向量程：(0~15)m
? 测量范围：±1.5 mm
? 测量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
? 基板尺寸：180mm可调，360mm可调
测量分辨力：0.1μm
直线度测量
? 轴向量程：(0.1~4.0)m
? 测量范围：±3mm
? 测量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
? 测量分辨力：0.01μm
垂直度测量
? 轴向量程：(0.1~3.0)m
测量范围：±3mm
? 测量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)
? 测量分辨力：0.01μm/m
回转轴精度测量
? 角度测量范围：(0~360)°
? 测量精度：±1″
*高转速：10rpm
锂电池供电，蓝牙传输数据。
SJ6000激光干涉仪配置清单：
序号 |
名称 |
明细 |
备注 |
1 |
SJ6000主机 |
1台，配云台 |
标配 |
2 |
环境补偿单元 |
1套，配1个空气温度探头和3个材料温度探头 |
标配 |
3 |
笔记本电脑 |
1台，配测量软件 |
标配 |
4 |
便携式拉杆箱 |
1个，尺寸：560mm×460mm×270mm |
标配 |
5 |
通用三脚架 |
1个 |
标配 |
6 |
线性镜组 |
线性干涉镜、线性反射镜，各1个 |
标配 |
7 |
镜组安装配件 |
磁性座2个 |
标配 |
安装柱4节 |
|||
辅助安装块2块 |
|||
夹紧块2个(带锁紧螺丝) |
|||
测头夹具1个(内径：φ32mm) |
选配 |
||
8 |
轻型线性附件 |
小角锥反射镜、缩光镜，各1个 |
选配 |
9 |
远距离线性附件 |
大角锥反射镜、远距离分光镜，各1个 |
选配 |
10 |
可调转向镜 |
可调转向镜1个 |
选配 |
11 |
角度镜组 |
角度干涉镜、角度反射镜，各1个 |
选配 |
12 |
平面度镜组 |
平面度镜组需要与角度镜组组合使用 |
选配 |
平面度反射镜2个 |
|||
180mm可调基板、360mm可调基板，各1个 |
|||
13 |
直线度镜组 |
直线度干涉镜、直线度反射镜，各1个 |
选配 |
直线度附件1套 |
|||
14 |
垂直度镜组 |
垂直度镜组需要与直线度镜组组合使用 |
选配 |
光学直角尺、垂直度安装三脚架，各1个 |
|||
15 |
高精密转台 |
锂电池供电，蓝牙传输 |
选配 |
16 |
工作服 |
夏、冬实验室工作服各1件 |
选配 |
