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适用于真空环境内*大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人！
双腕玻璃基板搬运机器人
负载：95KG
动态范围：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室
大动作范围：*大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
手臂采用连杆机构实现高钢性。
采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线。
项目规格备注
名称SEMISTAR-VD95D
机型XU-RVD1450D6-A10(配传感电缆)
构造水平多关节形(4个自由度)
动作范围L，R轴(伸缩)2300mm
S轴(旋转)-170°~+170°
U轴(升降)150mm
动作时间*1
(速度运作时)L，R轴(伸缩)3.2秒以下2300mm伸缩距离
S轴(回转)3.8秒以下340deg旋转距离(但L，R=0)
U轴(升降)2.5秒以下150mm升降距离
重复定位精度*2各轴±0.3mm抓手安装部分中心位置时
手臂抖动精度±0.3mm以下水平方向，抓手安装部分中心位置时
负载95KG/手臂含抓手重量
容许惯性力矩(CD2/4)*大118kg·m2含抓手重量，抓手安装部分中心位置时
耐真空度1*10-6Pa
本体质量1500kg
适用控制柜式样ERDR-VD0095D-A00三相AC200V，3.0kVA
*1：动作节拍不保证带有基板时搬运速度。由于抓手的形状及抓手的安装部分的钢性产生共振时，会影响动作节拍，请重新设定。
*2：依据JIS B8432标准的动作重复定位精度。但有无工件时负载变动以及使用速度的差异、温度变化的影响不考虑在内。