实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!
大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:50KG
动作范围:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬运、洁净室适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运,提高生产效率。
高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度,降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。
项目 | 规格 | |
---|---|---|
名称 | MOTOMAN-MFS2200D-3600 | |
机型 | YR-MFS050D-A00 | |
构造 | 水平多关节形(6个自由度) | |
负载 | 50kg/手臂 | |
重复定位精度*1 | ±0.2mm | |
动作范围 | U轴(上下轴) | 3600mm |
S轴(回转轴) | -180.5°~+180.5° | |
L,R轴(前后轴) | -1780mm~+1780mm | |
左右运作 | -50mm~+50mm | |
扭动运作 | -6°~+6°(上下轴100~1750mm范围) -0.5°~+0.5°(以上范围以外) |
|
***大速度 | U轴(上下轴) | 950mm/s |
S轴(回转轴) | 1.57rad/s,90°/s | |
L,R轴(前后轴) | ***大3600mm/s | |
容许力矩 | L,R轴(前后轴) | 353N·m |
容许惯性力矩(CD2/4) | L,R轴(前后轴) | 71kg·m2 |
标准喷涂色 | 孟塞尔munsell N9.5 | |
本体质量 | 2430kg | |
洁净度*2 | ISO4 | |
安置环境 | 温度 | 15~25°C |
湿度 | 20~80%RH(不结露) | |
振动 | 4.9m/s2以下 | |
其他 | ·环境没有引火性及腐蚀性气体,液体 ·远离水 ·远离电子噪音源 ·安装机器人水平面水平度在0.5mm以下 |
|
电源容量*3 | 12.0kVA |
*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。