欧姆龙OMRON光电区微型光电传感器用途分类晶圆片托架落座传感器EE-SPY801 / 802

欧姆龙OMRON光电区微型光电传感器用途分类晶圆片托架落座传感器EE-SPY801 / 802
晶圆片托架的落座检测
通过与导槽并用的方式设定落座位置
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
***的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
采用抗干扰光的变调光方式
使用环保导线（无滑石粉）