SJ6000激光干涉仪角度测量仪器

SJ6000激光干涉仪角度测量和镜组以及环境补偿器，外形小巧美观方便携带，一套完整的激光干涉仪和镜组只需要装在一个类似于行李箱的工具箱中，整体加起来的重量轻，再加上一个可以自由伸缩调整高度的三脚架（装在无纺编织袋中），随时随地可用于机械测量。激光干涉仪与环境补偿器都有端口和计算机USB接口相连，实时传递检测数据，供计算机检定软件测算，检定过程轻松易掌握，没有复杂的程序设定。

性能特点

1.精度高
SJ6000激光干涉仪角度测量以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。

2.功能广

• 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
• 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
• 可实现龙门机床双轴同步测量；
• 可实现对机床回转轴的测量与校准；
• 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
• 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；
• 支持手动或自动进行环境补偿。

3.软件强

• 友好的人机界面；
• 丰富的应用功能模块；
• 向导式的操作流程；
• 简洁化的记录管理；
• 支持中文、英文和俄文界面；
• 支持企业专属模板定制。

SJ6000 激光干涉仪角度测量 是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的抗扰力强，精度高，测量结果可靠，在高精度要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。