Setra西特227表压复合压绝压超高纯压力传感器|压力变送器-工博士工业品中心

Setra 西特 227 表压复合压绝压超高纯压力传感器

227G025PAE51106J,227G050PAE51106J,227G100PAE51106J,227G150PAE51106J

227G250PAE51106J,227G1000PAE51106J,227G3000PAE51106J,227G1R7BAE51106J

227G3R4BAE51106J,227G007BAE51106J,227G1017BAE51106J,227G035BAE51106J

227G070BAE51106J,227G2500BAE51106J,227GZ01PCE51106J,227GZ02PCE51106J

227GZ03PCE51106J,227GZ05PCE51106J,227G10CTAE51106J,227G20CTAE51106J

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Setra 227型压力变送器专为高密度的模块式“Block”气体棒和面板设计，能够满足如今300 mm工具的要求。该型号占用空间仅11/8″，能节省宝贵的空间；结构坚固，是
要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量应用于·高纯度气体输送系统半导体过程工具的理想选择。
与其他采用大体积封头腔室的产品不同，Setra 227型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L不锈钢制造，且表面钝化抛
光至5 Ra（大7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。227型压力变送器可选5 VDC、10 VDC或4-20mA三种输出类型，精度达±0.25% FS或1.0%读数。该型号可选符合工业标准的11/8″带C型或W型密封的朝下安装的压力接口，另外还可使用多芯电缆、4针卡口接头和9针或15针
D-sub接头进行电气连接。与328型11/8″旋转显示屏配合使用时，227型可实现理想的压力测量和显示。零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还
可选择绝压、表压或复合压测量范围。
高性价比227型压力变送器采用Setra砖利的可变电容技术，配有316L不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷平衡原理，通过Setra**的定制集成电路将其转换为高精度的线性直流电信号。Setra所有的超高纯系列产品都基于Setra成熟的电容传感技术制造，能提供几乎不受EMI/RFI干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。

表压、复合压、绝压可选 PSI 或 BAR 量程可选
Setra 的 227 型传感器专用于当今的 300mm 工具所要求的高密度、模块式 block 气体棒和面板。 227 型 1-1/8" 的占地面积优化了有价值的空间，其坚固的设计使其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应用。
与其它具有较大死端空泡体积的设计不同， 227 型具有一个方便洗涤的小排量传感器舱。所有湿润部件均为** VAR316LSS 材料，电解抛光至 5Ra （ 10
max. ）的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达 1x10-9atm.cc/sec 的氦渗漏试验。可选择 5VDC 、 10VDC 或 4-20mA 输出， 227 型可提供 ±0.25% 全量程或 ±1.0% 的读数精度。 227 型配备了一个节省空间的 11/8"C 型密封件下安装接口底座，并可选择多芯电缆、 4 针 bayonet 连接器和一个 9 针或 15 针 D 型连接器用于电气终端。加上 327 型的 1-1/8" 可旋转显示器，该产品包达到了压力测量及显示的 Ji 致。该**设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节，可选择绝队压、表压或复合压。
Setra 获専利的可变电容传感器的特点在于一个 316L 不锈钢膜片和一个绝缘电 Ji 板。在传感器主体和电 Ji 板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微变圆，从而增加了电容。通过 Setra **的定制集成电路检测电容值的变化，并利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度**的线性 DC 电信号。
etra 的整个超高纯系列均基于 Setra 的被广泛认可的电容传感技术，高度**和
稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰 / 射频干扰（ EMI/RFI ）。