Setra Model 760电容压力计是为的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从10Torr到1000Torr。测量单位可以是Torr,mbar/hpa,kpa或psia。Model 760的工作电压是15VDC,输出0~10VDC或0~5VDC,输出与压力成线性关系,而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准15针D型插座或6位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和ESD抑制元件以及输入输出的RFI过滤等技术,Model 760具有出众的EMI/RFI性能Model 760有一个完整的滑面,很*提供有的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel?材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体,另外可提供不同类型的压力和真空接头
应用半导体过程工具和设备实验室和研究开发,实验和测量,度量,分析化学系统
特性·**:标准±0.25% of Reading,可选±0.15%·小巧紧凑的结构·多种压力连接和电气连接方式·符合CE标准■出众的EMI/RFI性能■耐腐蚀的Inconel?设计■出色的热稳定性
Model 760中**的压力传感元件VactronTMpressuresensor,是在Setra砖利技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件*有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电。电和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被Setra特的集成电路检测并被转换成**的线性直流信号,该集成电路是根据西特砖利技术负荷平衡原理设计的。Model 760采用革新的传感设计获得了出色的零点稳定性和大气压非敏感性。Model 760传感器包含了不易脆的或合成的部件,形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。▲适用于与Inconel?或Inconel/不锈钢相容的气体
▲压力范围:0~10 Torr至0~1000Torr,
0~10 mbar/hpa至0~1000mbar/hpa
0~2 psia至0~20psia,
0~2 kpa至0~100kpa