洁净室搬运机器人负载:165KG动态范围:2650mm控制柜:DX100用途:搬运、半导体、洁净室
*1:依据JIS B8432标准*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保整个洁净室的洁净度。*3:根据用途、作业形式会有所不同。
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