欧姆龙光纤同轴位移传感器 ZW-7000系列传感头 ZW-S7020 2M|传感器-工博士工业品中心

欧姆龙

传感头

项目型号 ZW-S7010 ZW-S7020 ZW-S7030 ZW-S5010 ZW-S5020 ZW-S5030

适用传感器控制器 ZW-7000□ ZW-5000□

测定中心距离 10mm 20mm 30mm 10mm 20mm 30mm

测量范围 ±0.5mm 1 ±1mm 1 ±2mm *1 ±0.5mm ±1mm ±2mm

**静止分辨率 2 0.004μm 0.008μm 0.016μm 0.004μm 0.008μm 0.016μm

线性度 3** ±0.45μm ±0.9μm ±2.0μm ±0.45μm ±0.9μm ±2.0μm

光点直径
(测量范围内整区) *4 φ50μm φ70μm φ100μm φ9μm φ13μm φ18μm

**测量周期 5 20μs～400μs 80μs～1600μs

使用环境照度物体表面照度30000Lx以下：白炽灯

环境温度范围工作时：0～+50℃、保存时：-15～+60℃
(不结冰、不凝露)

环境湿度范围工作时/保存时：35～85%(不凝露)

保护构造 IP40(IEC60529)

振动(耐久) 10～150Hz(单振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 80分钟

冲击(耐久) 150m/s²、6个方向、各3次(上下、左右、前后)

温度特性 6 0.6μm/℃ 1.1μm/℃ 1.8μm/℃ 0.6μm/℃ 1.1μm/℃ 1.8μm/℃

LED的安全性风险组1(IEC62471)

材质箱体：铝压铸
光缆包层部：PVC
校准ROM：PC

光缆长度 0.3m、2m(耐弯曲电缆)

光缆小弯曲半径 20mm

绝缘电阻(校准ROM) 外壳与所有端子间：20MΩ(250V兆欧表)

耐压(校准ROM) 外壳与所有端子间：AC1000V、50/60Hz、1分钟

重量光缆长度0.3m　约170g
光缆长度2m　约180g

附件校准ROM固定用螺钉(M2)、
吊带(2个)、
使用说明书、
使用注意事项校准ROM固定用螺钉(M2)、
吊带(1个)、
使用说明书、
使用注意事项

1.测量范围在测量周期为28μs以上时
*2.在测量中心距离对本公司标准镜面对象物体进行平均次数16384次测量时的实效值
与出口贸易管理法规对应控制器(ZW-7000T/5000T)连接时，无论传感头和设定条件如何，***小分辨率都为0.25μm。
3.设定本公司标准对象物体的材质：相对于镜面测量时的理想直线的误差
4.以测量波长的峰值光强度的1/e²(13.5%)定义的实效值
5.连接了5m以上的延长用光纤电缆时，测量周期(曝光时间)的设定范围会发生变化。
6. 用铝夹具固定传感头和对象物体之间，在相同温度环境下设置传感头和控制器时的测量中心距离的测量值变化量

项目	型号	ZW-S7010	ZW-S7020	ZW-S7030	ZW-S5010	ZW-S5020	ZW-S5030
适用传感器控制器	ZW-7000□	ZW-5000□
测定中心距离	10mm	20mm	30mm	10mm	20mm	30mm
测量范围	±0.5mm *1	±1mm *1	±2mm *1	±0.5mm	±1mm	±2mm
*静止分辨率 2**	0.004μm	0.008μm	0.016μm	0.004μm	0.008μm	0.016μm
*线性度 3**	±0.45μm	±0.9μm	±2.0μm	±0.45μm	±0.9μm	±2.0μm
光点直径 (测量范围内整区) *4	φ50μm	φ70μm	φ100μm	φ9μm	φ13μm	φ18μm
*测量周期 5**	20μs～400μs	80μs～1600μs
使用环境照度	物体表面照度30000Lx以下：白炽灯
环境温度范围	工作时：0～+50℃、保存时：-15～+60℃ (不结冰、不凝露)
环境湿度范围	工作时/保存时：35～85%(不凝露)
保护构造	IP40(IEC60529)
振动(耐久)	10～150Hz(单振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 80分钟
冲击(耐久)	150m/s²、6个方向、各3次(上下、左右、前后)
*温度特性 6**	0.6μm/℃	1.1μm/℃	1.8μm/℃	0.6μm/℃	1.1μm/℃	1.8μm/℃
LED的安全性	风险组1(IEC62471)
材质	箱体：铝压铸光缆包层部：PVC 校准ROM：PC
光缆长度	0.3m、2m(耐弯曲电缆)
光缆小弯曲半径*	20mm
绝缘电阻(校准ROM)	外壳与所有端子间：20MΩ(250V兆欧表)
耐压(校准ROM)	外壳与所有端子间：AC1000V、50/60Hz、1分钟
重量	光缆长度0.3m　约170g 光缆长度2m　约180g
附件	校准ROM固定用螺钉(M2)、吊带(2个)、使用说明书、使用注意事项	校准ROM固定用螺钉(M2)、吊带(1个)、使用说明书、使用注意事项

控制器

项目型号 ZW-7000□ ZW-5000□

输入输出类型 NPN/PNP通用

传感头连接台数 1台

适用传感头 ZW-S70□□ ZW-S50□□

测量用光源白色LED

LED的安全性风险组1(IEC62471)

激光安全性 1级(IEC/EN60825-1) -

段
显示主数字显示 11段白色显示、6位

辅数字显示 11段绿色显示、6位

LED
显示状态指示灯 HIGH(橙色)、PASS(绿色)、LOW(橙色)、
STABILITY(绿色)、ZERO(绿色)
、ENABLE(绿色)、THRESHOLD-H(橙色)、
THRESHOLD-L(橙色)、RUN(绿色)

EtherCAT指示灯 ECAT RUN(绿色)、
L/A IN( Link /Activity IN)(绿色)、
L/A OUT( Link /Activity OUT)(绿色)、
ECAT ERR(红色)

外部
接口 Ethernet 100BASE-TX/10BASE-T　
无协议(TCP/UDP)、EtherNet/IP

EtherCAT EtherCAT专用协议100BASE-TX

RS-232C 大115,200bps

模拟
输出
端子
台模拟量电压输出
(OUTV) -10V～+10V、输出阻抗：100Ω

模拟量电流输出
(OUTA) 4mA～20mA、大负载电阻：300Ω

32极
扩展
连接
器判定输出
(HIGH/PASS/LOW) 晶体管输出方式
输出电压：DC21.6～30V
负载电流：50mA以下
ON时剩余电压：2V以下
OFF时漏电流：0.1mA以下

BUSY输出
(BUSY)

报警输出
(ALARM)

启用输出
(ENABLE)

漏型标志输出
(SYNFLG)

触发BUSY输出
(TRIGBUSY)

记录状态输出
(LOGSTAT)

记录错误输出
(LOGERR)

稳定性输出
(STABILITY)

任务状态输出
(TASKSTAT)

LIGHT OFF输入
(LIGHT OFF) DC输入方式
输入电压：DC24V±10%(DC21.6～26.4V)
输入电流：7mA Typ.(DC24V)
ON电压/ON电流：19V/3mA以上
OFF电压/OFF电流：5V/1mA以下

归零输入
(ZERO)

时间输入
(TIMING)

复位输入
(RESET)

漏型输入
(SYNC)

触发输入
(TRIG)

记录输入
(LOGGING)

BANK 选择时
BANK输出
(BANK_OUT1～3) 晶体管输出方式
输出电压：DC21.6～30V
负载电流：50mA以下　
ON时剩余电压：2V以下
OFF时漏电流：0.1mA以下

BANK
选择输入
(BANK_SEL1～3) DC输入方式
输入电压：DC24V±10%(DC21.6～26.4V)
输入电流：7mA Typ.(DC24V)
ON电压/ON电流：19V/3mA以上
OFF电压/OFF电流：5V/1mA以下

主要
功能曝光时间自动/固定

**测量周期 1 20μs～400μs 80μs～1600μs

材质指定标准/镜面/粗糙面

测量项目高度/厚度/运算

滤波器处理中值/平均/微分/高通/低通/带通

输出缩放/各种保持/归零/测量值记录

显示测量值/阈值/
模拟量输出电压值或电流值/
判定结果/分辨率/曝光时间/
内部记录状态/峰值受光量

设定登录数多8个BANK

任务处理多任务(1个BANK*多4个任务)

系统保存/初始化/测量信息显示/
通信设定/传感头校正/
键锁定/归零存储/时间输入

额
定值电源电压 DC21.6V～26.4V(含波动)

消耗电流 800mA以下

绝缘电阻所有导线和FG端子间：20MΩ(250V兆欧表)

耐压所有导线和FG端子间：AC500V、50/60Hz、1分钟

耐环
境性保护构造 IP20(IEC60529)

振动(耐久) 10～55Hz(单振幅0.35mm)、
X/Y/Z各方向 50分钟

冲击(耐久) 150m/s²、6个方向、
各3次(上下、左右、前后)

环境温度范围工作时：0～+40℃、保存时：
-15～+60℃(不结冰、不凝露)

环境湿度范围** 工作时/保存时：35～85%(不凝露)

接地 D型接地(接地电阻100Ω以下)　
*以往的第三种接地

材质箱体：PC

重量约900g(仅本体)、约150g(并行电缆)

附件并行电缆(ZW-XCP2E)
光纤清洁剂10支(ZW-XCL)
使用说明书
会员注册表并行电缆(ZW-XCP2E)
光纤清洁剂10支(ZW-XCL)
光纤适配器盖
吊带(1个)
使用说明书/会员注册表

注. 备有出口贸易管理法规适用控制器(ZW-7000T/5000T)。
使用此控制器时，无论连接的传感头和设定条件如何，***小分辨率都为0.25μm。
*1. 连接了5m以上的延长用光纤电缆时，测量周期(曝光时间)的设定范围会发生变化。

项目	型号	ZW-7000□
输入输出类型	NPN/PNP通用
传感头连接台数	1台
适用传感头	ZW-S70□□	ZW-S50□□
测量用光源	白色LED
LED的安全性	风险组1(IEC62471)
激光安全性	1级(IEC/EN60825-1)	-
段显示	主数字显示	11段白色显示、6位
辅数字显示	11段绿色显示、6位
LED 显示	状态指示灯	HIGH(橙色)、PASS(绿色)、LOW(橙色)、 STABILITY(绿色)、ZERO(绿色) 、ENABLE(绿色)、THRESHOLD-H(橙色)、 THRESHOLD-L(橙色)、RUN(绿色)
EtherCAT指示灯	ECAT RUN(绿色)、 L/A IN( Link /Activity IN)(绿色)、 L/A OUT( Link /Activity OUT)(绿色)、 ECAT ERR(红色)
外部接口	Ethernet	100BASE-TX/10BASE-T　无协议(TCP/UDP)、EtherNet/IP
EtherCAT	EtherCAT专用协议100BASE-TX
RS-232C	***大115,200bps
模拟输出端子台	模拟量电压输出 (OUTV)	-10V～+10V、输出阻抗：100Ω
模拟量电流输出 (OUTA)	4mA～20mA、***大负载电阻：300Ω
32极扩展连接器	判定输出 (HIGH/PASS/LOW)	晶体管输出方式输出电压：DC21.6～30V 负载电流：50mA以下 ON时剩余电压：2V以下 OFF时漏电流：0.1mA以下
BUSY输出 (BUSY)
报警输出 (ALARM)
启用输出 (ENABLE)
漏型标志输出 (SYNFLG)
触发BUSY输出 (TRIGBUSY)
记录状态输出 (LOGSTAT)
记录错误输出 (LOGERR)
稳定性输出 (STABILITY)
任务状态输出 (TASKSTAT)
LIGHT OFF输入 (LIGHT OFF)	DC输入方式输入电压：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 输入电流：7mA Typ.(DC24V) ON电压/ON电流：19V/3mA以上 OFF电压/OFF电流：5V/1mA以下
归零输入 (ZERO)
时间输入 (TIMING)
复位输入 (RESET)
漏型输入 (SYNC)
触发输入 (TRIG)
记录输入 (LOGGING)
BANK	选择时 BANK输出 (BANK_OUT1～3)	晶体管输出方式输出电压：DC21.6～30V 负载电流：50mA以下　 ON时剩余电压：2V以下 OFF时漏电流：0.1mA以下
BANK 选择输入 (BANK_SEL1～3)	DC输入方式输入电压：DC24V±10%(DC21.6～26.4V) 输入电流：7mA Typ.(DC24V) ON电压/ON电流：19V/3mA以上 OFF电压/OFF电流：5V/1mA以下
主要功能	曝光时间	自动/固定
*测量周期 1**	20μs～400μs	80μs～1600μs
材质指定	标准/镜面/粗糙面
测量项目	高度/厚度/运算
滤波器处理	中值/平均/微分/高通/低通/带通
输出	缩放/各种保持/归零/测量值记录
显示	测量值/阈值/ 模拟量输出电压值或电流值/ 判定结果/分辨率/曝光时间/ 内部记录状态/峰值受光量
设定登录数	***多8个BANK
任务处理	多任务(1个BANK***多4个任务)
系统	保存/初始化/测量信息显示/ 通信设定/传感头校正/ 键锁定/归零存储/时间输入
额定值	电源电压	DC21.6V～26.4V(含波动)
消耗电流	800mA以下
绝缘电阻	所有导线和FG端子间：20MΩ(250V兆欧表)
耐压	所有导线和FG端子间：AC500V、50/60Hz、1分钟
耐环境性	保护构造	IP20(IEC60529)
振动(耐久)	10～55Hz(单振幅0.35mm)、 X/Y/Z各方向 50分钟
冲击(耐久)	150m/s²、6个方向、各3次(上下、左右、前后)
环境温度范围	工作时：0～+40℃、保存时： -15～+60℃(不结冰、不凝露)
环境湿度范围	工作时/保存时：35～85%(不凝露)
接地	D型接地(接地电阻100Ω以下)　 *以往的第三种接地
材质	箱体：PC
重量	约900g(仅本体)、约150g(并行电缆)
附件	并行电缆(ZW-XCP2E) 光纤清洁剂10支(ZW-XCL) 使用说明书会员注册表	并行电缆(ZW-XCP2E) 光纤清洁剂10支(ZW-XCL) 光纤适配器盖吊带(1个) 使用说明书/会员注册表

EtherCAT通信规格

项目规格

通信标准 IEC61158 Type12

物理层 100BASE-TX(IEEE802.3)

接插件 RJ45×2
EtherCAT IN ： EtherCAT输入
EtherCAT OUT ： EtherCAT输出

通信媒体类别5以上双绞线电缆
(建议使用铝带编织双重隔离屏蔽线、直线型)

通信距离节点间距离 100m以内

过程数据可变PDO映射(variable PDO mapping)

邮箱(CoE) 紧急信息、SDO请求、SDO响应、SDO报文

分布式时钟 DC模式下同步

LED显示 L/A IN ( Link /Activity IN)×1、
L/A OUT ( Link /Activity OUT)×1、
ECAT RUN×1、ECAT ERR×1

项目	规格
通信标准	IEC61158 Type12
物理层	100BASE-TX(IEEE802.3)
接插件	RJ45×2 EtherCAT IN ： EtherCAT输入 EtherCAT OUT ： EtherCAT输出
通信媒体	类别5以上双绞线电缆 (建议使用铝带编织双重隔离屏蔽线、直线型)
通信距离	节点间距离 100m以内
过程数据	可变PDO映射(variable PDO mapping)
邮箱(CoE)	紧急信息、SDO请求、SDO响应、SDO报文
分布式时钟	DC模式下同步
LED显示	L/A IN ( Link /Activity IN)×1、 L/A OUT ( Link /Activity OUT)×1、 ECAT RUN×1、ECAT ERR×1

自动化软件 Sysmac Studio

项目 **条件*3**

操作系统(OS) 1
日语版或者英语版 Windows 7(32bit版/64bit版)/
Windows 8(32bit版/64bit版)/
Windows 8.1(32bit版/64bit版)/
Windows 10(32bit版/64bit版)

CPU 搭载Intel^?Celeron^?processor 540(1.8GHz)以上处理器的
DOS/V(IBM AT 兼容机)个人计算机。
建议使用搭载Intel^?CoreTM i5 M520 processor(2.4GHz)或
与之相当及以上的处理器的DOS/V(IBM AT 兼容机)个人计算机。

主存储器 2GB以上
建议4GB以上

硬盘安装时需要4.6GB以上的剩余容量2

显示器建议XGA 1024×768、1600万色　WXGA 1280×800以上

磁盘装置 DVD-ROM驱动器

通信端口支持USB2.0的USB端口或Ethernet端口 4

使用语言日语、英语、德语、法语、意大利语、西班牙语、
汉语简体字、汉语繁体字、韩语

1. 支持Sysmac Studio的操作系统的注意事项：
请注意，所需的系统、硬盘容量可能因系统环境而异。
2. 要使用文件记录功能，需另行准备记录用存储卡。
3. 运行环境、注意事项的记载内容与位移传感器版相关。
与标准版相关的运行环境及注意事项，请参照Sysmac Studio Version1操作手册(SBCA-362)。
*4. 有关计算机和控制器等的硬件的连接方法/电缆，请参阅各硬件的手册。

项目	*条件3**
操作系统(OS) *1 日语版或者英语版	Windows 7(32bit版/64bit版)/ Windows 8(32bit版/64bit版)/ Windows 8.1(32bit版/64bit版)/ Windows 10(32bit版/64bit版)
CPU	搭载Intel^?Celeron^?processor 540(1.8GHz)以上处理器的 DOS/V(IBM AT 兼容机)个人计算机。建议使用搭载Intel^?CoreTM i5 M520 processor(2.4GHz)或与之相当及以上的处理器的DOS/V(IBM AT 兼容机)个人计算机。
主存储器	2GB以上建议4GB以上
硬盘	安装时需要4.6GB以上的剩余容量*2
显示器	建议XGA 1024×768、1600万色　WXGA 1280×800以上
磁盘装置	DVD-ROM驱动器
通信端口	支持USB2.0的USB端口或Ethernet端口 *4
使用语言	日语、英语、德语、法语、意大利语、西班牙语、汉语简体字、汉语繁体字、韩语

版本信息

ZW-7000/5000系列与Sysmac Studio的关系

Sysmac Studio标准版/位移传感器版请使用*新版。

控制器型号控制器的版本 Sysmac Studio标准版/位移传感器版的对应版本**

ZW-7000□ Ver.2.03以上 Ver.1.15以上版本可使用。

ZW-5000□ Ver.2.10 Ver.1.18以上版本可使用。

控制器型号	控制器的版本	Sysmac Studio标准版/位移传感器版的对应版本
ZW-7000□	Ver.2.03以上	Ver.1.15以上版本可使用。
ZW-5000□	Ver.2.10	Ver.1.18以上版本可使用。

欧姆龙光纤同轴位移传感器 ZW-7000系列传感头 ZW-S7020 2M

传感头

控制器

EtherCAT通信规格

自动化软件 Sysmac Studio

版本信息

ZW-7000/5000系列与Sysmac Studio的关系

Sysmac Studio标准版/位移传感器版请使用***新版。 控制器型号 控制器的版本 Sysmac Studio标准版/位移传感器版的对应版本 ZW-7000□ Ver.2.03以上 Ver.1.15以上版本可使用。 ZW-5000□ Ver.2.10 Ver.1.18以上版本可使用。

Sysmac Studio标准版/位移传感器版请使用*新版。

控制器型号控制器的版本 Sysmac Studio标准版/位移传感器版的对应版本**

ZW-7000□ Ver.2.03以上 Ver.1.15以上版本可使用。

ZW-5000□ Ver.2.10 Ver.1.18以上版本可使用。