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日本山武azbil 蓝宝石隔膜真空计 SPG5/6/7/8中文资料产品说明书
蓝宝石隔膜真空计使用环境温度范围SPG5(标准型)
SPG5(标准型)：有自己加热的机型10~45°C(35℃以上时需要0.5m/s以上的冷却风)无自己加热的机型0~60℃
SPG6(高温环境对应型)：10~65℃(垂直安装时)、10~70℃(水平安装时)(45℃以上时需要0.5m/s以上的换气风)
SPG7(结冰干燥用型)10~45C(35C以上时需要0.5m/s以上的冷却风)
SPG8(高温加热型)有冷却风 ( 0.5m/s以上)的场合10~55℃（垂直安装时)、10~60°℃(水平安装时)无冷却风的场合10~35℃(垂直安装时)、10~45C(水平安装时)。
特点
蓝宝石隔膜真空计 SPG系列采用了蓝宝石静电容量式压力传感器、是具有高精度、高可靠性、高耐腐蚀性的小型·轻量的隔膜真空计。主要用于半导体工艺流程。
SPG5(标准型)：有自己加热的机型10~45°C(35℃以上时需要0.5m/s以上的冷却风)无自己加热的机型0~60℃
SPG6(高温环境对应型)：10~65℃(垂直安装时)、10~70℃(水平安装时)(45℃以上时需要0.5m/s以上的换气风)
SPG7(结冰干燥用型)10~45C(35C以上时需要0.5m/s以上的冷却风)
SPG8(高温加热型)有冷却风 ( 0.5m/s以上)的场合10~55℃（垂直安装时)、10~60°℃(水平安装时)无冷却风的场合10~35℃(垂直安装时)、10~45C(水平安装时)。
特点
采样高耐腐蚀性、高耐热性的单晶体蓝宝石
感压部材料采用具有高耐腐蚀性、高耐热性、机械特性优异的单晶体蓝宝石，通过静电容量检测方式，即使在高温检测环境下也可实现高的检测重复性。
·检测误差小
采用先进的信号处理技术、实现了温度特性、直线性等误差小的检测。
小型/轻量的本体
通过采用先进的显微机械加工技术形成的蓝宝石传感器、实现了大幅度的小型/轻量化。
简单的零点调整功能
通过Auto零点调整开关或Up/Down零点调整开关，可简单地进行零点调整。
·机器状态显示
通过LED显示，可一目了然地判断产品的状态（正常、预热中、异常)。
迅速启动和稳定的温度控制
通过采用了微处理器的数字PID运算对加热器进行温度控制、实现了迅速启动和稳定的温度控制。
·智能编程器软件包对应
智能编程器软件包对应(另售SLP-SP5J70)可方便地进行监视和参数的读写。
·符合CE
符合EC指令、符合CE标识。(适合规格:EN61326、EN55011 )
