美国西特Setra217系列超高纯压力变送器 model217G压力传感器 高纯度气体传感器

Setra 217 型压力变送器专为模块式“Block”气体棒和面板设计，非常适合恶劣环境（例如冷气流导致的温度瞬变）下的压力测量应用。

217 型压力变送器可选带C 型或W 型密封的朝下安装的压力端口，带有易于吹扫的小型传感器腔室。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L不锈钢制造，且表面钝化抛光至5 Ra（ ***大7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。每个传感器都采用质谱仪进行了1 x 10-9 ATM.CC/sec 级别的氦渗漏试验。

Setra 所有的超高纯系列产品都基于Setra 成熟的电容传感技术制造，能提供几乎不受EMI/RFI 干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。

■ 泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI

特性

·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·出众的稳定性，避免停机
·可选带C 型或W 型密封的压力端口
·抗电磁干扰/ 射频干扰，可防止误停机
·易于吹扫
·符合CE 和RoHS 标准要求

应用

·模块式“Block”气体棒和面板

·高纯度气体输送系统

·半导体过程工具