实现洁净室内多层第6代超大型液晶玻璃基板箱体内的高速搬运!
大型液晶玻璃基板搬运机器人
负载:50KG
动作范围:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬运、洁净室 安川机器人MFS2200D特点及参数
适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运,提高生产效率。
高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度,降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。
*1:依据JIS B8432标准
*2:洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下,来确保工件搬运面以上洁净度。
*3:根据用途、作业形式会有所不同。
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安川机器人