采用直线电机,使搬运、推送和长度测量系统小型化。
厚度:9mm,质量:130g(行程10mm时)。 ***大推力:6N。 重复定位精度:±5μm。 推进测长精度:±10μm。 ***高使用频率:500cpm。 |
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(光学式直线 编码器)分辨率 |
瞬时***大推力 |
定位 精度 |
测长 精度 |
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