采用直线电机,使搬运、推送和长度测量系统小型化。
厚度:9mm,质量:130g(行程10mm时)。
***大推力:6N。
重复定位精度:±5μm。
推进测长精度:±10μm。
***高使用频率:500cpm。
列 | 行程(mm) | 传感器 (光学式直线 编码器)分辨率 |
推进 瞬时***大推力 |
重复 定位 精度 |
推进 测长 精度 |
***高速度 |
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LAT3F | 10, 20, 30, 50 | 1.25μm | ~6N | ±5μm | ±10μm | 400mm/s |
LAT3M | 50 | 5μm | ~6N | ±20μm | ±40μm | 400mm/s |
LAT3 | 10, 20, 30 | 30μm | ~6N | ±90μm | ±100μm | 400mm/s |