安川 SEMISTAR-MR124 自动化

适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版，引领业界的高性能！供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。

半导体晶片搬运用机器人
负载：-
动作范围：1215mm
控制柜：SR100
用途：搬运、半导体

大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用设备，无需使用底架，极大地提高了搬运效率。
高速搬运：300枚/小时
适用：300mm-450mm晶片搬运

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