洁净室搬运机器人负载:165KG动作范围:2650mm控制柜:DX100用途:搬运、半导体、洁净室大负载:165KG大动作范围:***大水平伸长达2650mm,动作***大高度达3130mm。洁净度达到ISO6级,可实现高度柔性的系统布局。
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