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1、用于PERC太阳能电池和IBC太阳能电池
2、采用皮秒或超短脉宽纳秒激光器
3、开膜图形可自由设定：实线、虚线、圆点等
4、自动化程度高，产能达到3600pcs/h以上
5、采用柔性传输机构，碎片率低于0.5‰
6、标配自动上下料，可靠性高
7、内置除尘装置，节省设备的占地面积
技术参数
薄膜厚度 |
﹤200nm |
加工范围 |
180mm×180mm |
激光器 |
532nm，纳秒级（皮秒备选） |
| 硅片尺寸 | 156mm×156mm，兼容125mm×125mm |
UPH |
≥3600PCS，1mm线间距 |
Uptime |
≥98.5%，正常运行时间 |
| MTBF | ≥250hours，平均无故障时间 |
MTTR |
≤12hours，平均恢复时间 |
Yield |
≥99.80%，满产率 |
碎片率 |
≤0.5‰ |
开膜加工宽度 |
30~60um |
| 开膜加工速度 | ≥20000mm/s |
线宽 |
40±5um |
| 其他功能 | 1、可用于SIOx、ALOx与SINx膜层的消除 2、自动识别破片和未加工硅片 3、具有功率监控装置 |
应用领域
用于PERC太阳能电池和IBC太阳能电池
