Whiteknight白骑士PEM 050电动计量泵，Whiteknight隔膜式计量泵|计量泵-工博士工业品中心

Whiteknight白骑士PEM 050电动计量泵，Whiteknight隔膜式计量泵

White Knight 计量泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用，以确保一定浓度的化学混合物，并且允许在原位直接在头部混合调节流速。泵是在高纯化学品的适用分配补充，混合，计量等应用，以及清洗CVD设备和光刻。他们是理想的光致抗蚀剂，蚀刻和清洗工艺，食人鱼过氧化混合物扣球，和之前推出基板化学混合物进入处理槽等混合。

PEM 050电动计量泵
Whiteknight白骑士PEM 050电动计量泵，Whiteknight隔膜式计量泵

PEM 050电动计量仪特性

PEM050泵有TeflonPTFE液体通路可准确地分配1至50毫升的腐蚀性液体为补充、混合、计量、和强化的程序。使用TeflonPTFE活动的膜片、较高的出口压力可以安全可靠的输送化学品。位置控制阀确保精度减缓脉冲,特别是单向阀。 PEM050泵可提供多达5个出液口,以编程系统和逻辑独立控制。

·电控可调式行程

·配液量高达50毫升

·高精度泵具有高达±0.01%重复性

·允许60-80psi压力

·可编程序系统逻辑

·2到6接口配置

特点与优点

·完全可调的行程速度

·安全、无泄漏操作，不需要维护

·无暴露的金属防止腐蚀和污染

·高纯度化学品完全包揽Teflon?PTFE流体通道

·PP外壳的Teflon?PTFE材质的旋转膜片

·易于安装和检查

·嵌入或外挂的组件易于安装和维护

·易于安装在任意方向

·洁净室内组装，测试及包装

·泄漏检测口

·自吸式

·占用空间小

· 极限小的保持量

·正面的进/出口阀可防止气体通过

技术参数

泵型号	PEM050
液分配	1-50 ml per stroke
测量重复度	± 0.01% (Full Scale)
每分钟循环次数	≤ 6 CPM
每个循环内空气的消耗量	1-3 SCFM
流通管路材质	PTFE
阀门控制驱动气体的压力	4.14 - 5.86 Bar (60 - 85 psi)
排液压力	5.51 Bar (80 psi)
温度范围	≤ 100°C (212°F)
重量	1.6 kg (3.5 lb)
吸升高度	4.6 m (15 ft)
漏液检测	Valve Position Sensing
通信	Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)