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[VIP第6年] 指数:4
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简介
适用于晶元搬运SEMISTAR-M系列升级版，**业界的***！供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。
主要参数
| 机器人型号： | SEMISTAR-MR124 |
| 驱动轴数： | 5 |
| 动态范围： | 1215mm |
| 用途： | 搬运、半导体 |
特点
大动作范围：EFEM模块移动距离可达4套应用设备，无需使用底架，极大地提高了搬运效率。
高速搬运：300枚/小时
适用：300mm-450mm晶片搬运
