对应发生器系统/真空泵系统。
采用模块式设计,可根据所需功能进行组合。
*适合用于100g以下的电子零件或小型精密零部件。
可集装化。
※ZX(搭载数字式压力开关ZSE3)于2019年6月进行了产品变更,请选择ZQ系列、ZK系列。