NTS系列机器人无尘机器人——川崎机器人

NTS系列机器人规格

项目		标准		选项
型号		NTS10	NTS20	-
构造		水平多关节型		-
臂		单手臂	双手臂	-
自由度 (轴)		4	5	-
动作范围	θ1轴 (旋转JT2) (°)	340		-
	Z轴 (上下JT3) (㎜)	470		-
	θ2轴 (旋转JT4) (°)	340		-
	H1轴 (旋转JT6)(°)	340		-
	H2轴 (回転JT7) (°)	-	340	-
*大臂展 (mm)		1,066		-
重复性 (mm)1		±0.1 (晶圆中心)		-
无尘度2		ISO1级		-
抓手规格3		-	-	边缘夹持式 / 真空吸附式
控制柜		D60		示教器
		分离电缆 (1-5m)4		操作盒
软件		标准软件		KRET
		KMTerm		KR3D
		KSUtility Lite		KSUtility
手册		使用说明书		-
		通信说明书		-
		通用软件 (K-Fast) 导入说明书		-
否则		-		校准器
		-		测绘传感器

1：以ISO9283为基准。

2：于川崎的无尘间内测得。

3：标准式样不含抓手。

4：分离电缆请从1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中选择。

详细规格等内容请和各地区销售人员确认。