1、该设备可根据需要,平台纵向移动和光学箱横向移动,使得激光头可在电池片指定区域下方,通过振镜快速扫描,去除电池片指定区域膜层
2、自动化程度高(选配自动上下料),整机效率高(加工效率提升了300%)
3、跟随式除尘,集尘口跟随激光光斑运动,保证清边的同时集尘
4、激光扫边只去除膜层,不会对薄膜造成损伤
5、未被激光扫除的膜层不受到粉尘的损伤和污染
6、扫边完成的工件表面无粉尘、颗粒残留
7、经过激光扫边后工件能通过绝缘性能测试,层压后拒绝电阻值﹥1000MΩ
8、除尘效果:清边后用400倍显微镜检查清边区域无大于1微米颗粒
技术参数
激光波长 |
1064nm |
激光脉冲宽度(典型值) |
70ns,10kH,1064nm |
激光脉冲稳定性 |
﹤3%(RMS)up to 15KHz |
输出方式 | 单机单激光器单光路输出 |
Z轴光点焦平面调节 |
浮动微调 |
平均加工速度 |
200~400mm/s |
平均清边效率 |
≤1分钟/板(含进出料)(清边宽度≤15mm) |
运动直线度 |
±10um/m |
工作台平面度 |
50um |
清边精度 | ±0.1mm |
光斑直径 |
0.5~1mm |
光斑形态 |
方形光斑 |
有效加工范围 |
635mm×400mm(可定制) |
电阻值 |
1000MΩ,1000VDC(层压前) |
冷水机供水 |
去离子水 |