PERC激光消融系统

产品描述

1、用于PERC太阳能电池和IBC太阳能电池

2、采用皮秒或超短脉宽纳秒激光器

3、开膜图形可自由设定：实线、虚线、圆点等

4、自动化程度高，产能达到3600pcs/h以上

5、采用柔性传输机构，碎片率低于0.5‰

6、标配自动上下料，可靠性高

7、内置除尘装置，节省设备的占地面积

技术参数

薄膜厚度	﹤200nm
加工范围	180mm×180mm
激光器	532nm，纳秒级（皮秒备选）
硅片尺寸	156mm×156mm，兼容125mm×125mm
UPH	≥3600PCS，1mm线间距
Uptime	≥98.5%，正常运行时间
MTBF	≥250hours，平均无故障时间
MTTR	≤12hours，平均恢复时间
Yield	≥99.80%，满产率
碎片率	≤0.5‰
开膜加工宽度	30~60um
开膜加工速度	≥20000mm/s
线宽	40±5um
其他功能	1、可用于SIOx、ALOx与SINx膜层的消除 2、自动识别破片和未加工硅片 3、具有功率监控装置

应用领域

用于PERC太阳能电池和IBC太阳能电池