在线客服
企业微信
点击图片查看原图
通过认证
LB/LO/LL HEPA/ULPA LB/LO/LL ULPA 使用低硼/低有机物玻璃纤维纸之空气过滤网。 PTFE 使用超细微之纤维所结合而成,低压损、高捕集效率，其特征为氟树脂之洁净性及耐药品性。
内容
半导体科技 ROAD MAP 中Design Rule为分子污染的对策必须在0.13μm以下。
台湾霓塔具备革新的高科技的技术来制造低硼、低有机物空气过滤网，已提供此制品给日本市场的许多客户。
台湾霓塔的低硼、低有机物制品，以日本Nitta分子污染评价技术，其性能有被证明。
下个世代的无尘室中为了有效抑制分子污染，若怠慢了低硼、低分子污染的对策，将无法抑制分子污染。
分子污染的对策在超清洁环境有被要求的场合时，化学过滤网、低硼、低有机物空气过滤网的组合是*适合被选择使用。
1.过滤网类型
平板型 低硼、低有机物HEPA Filter
型号
厚度(MM)
面风速(M/S)
初期压损(PA)
效率(0.3UM)
安全规格UL900
LB3502
52
0.5 / 0.85
120 / 210
99.99% / 99.97%
---
LB3402
68
0.5 / 0.85
95 / 165
99.99% / 99.97%
---
LB3802
86
0.5 / 0.85
80 / 140
99.99% / 99.97%
---
LL3502
52
0.5
125
99.97%
---
LL3402
68
0.5
125 / 100
99.99%
---
LO3501
52
0.5 / 0.85
140 / 250
99.99%
---
LO3401
68
0.5 / 0.85
110 / 200
99.99%
---
LO3801
86
0.5 / 0.85
90 / 160
99.99%
---
LL3501
52
0.5 / 0.85
140 / 250
99.99%
---
LL3401
68
0.5 / 0.85
110 / 200
99.99%
---
LL3801
86
0.5 / 0.85
90 / 160
99.99%
---
* UL900为选购产品
平板型 低硼、低有机物ULPA Filter
型号
厚度(MM)
面风速(M/S)
初期压损(PA)
效率(0.1~0.2UM)
安全规格UL900
LB3542
52
0.5
170
99.999%
---
LB3442
68
0.5
135
99.999%
---
LB3842
86
0.5 / 0.85
110 / 190
99.999%
---
LO3541
52
0.5
200
99.999%
V
LO3441
68
0.5 / 0.85
145 / 250
99.9995% / 99.999%
V
LO3841
86
0.5 / 0.85
125 / 215
99.9995% / 99.999%
V
LL3541
52
0.5
200
99.999%
V
LL3441
68
0.5 / 0.85
145 / 250
99.9995% / 99.999%
V
LL3841
86
0.5 / 0.85
125 / 215
99.9995% / 99.999%
V
* UL900为选购产品
CELL型 无硼PTFE HEPA Filter
型号
尺寸(MM)
风量(CMM)
初期压损(PA)
效率(0.3UM)
安全规格UL900
U150X-12
595x595x292
43.8
190
99.995%
---
U150X-06
290x595x292
18.5
190
99.995%
--- 平板型 无硼PTFE HEPA Filter
型号
厚度(MM)
面风速(M/S)
初期压损(PA)
效率(0.3UM)
安全规格UL900
TNNE30H
52
0.5
98
99.999%
V
TNNE35H
52
0.5
85
99.999%
V 平板型 无硼PTFE ULPA Filter
型号
厚度(MM)
面风速(M/S)
初期压损(PA)
效率(0.1~0.2UM)
安全规格UL900
TNNA35U6
52
0.5
116
99.99995%
V
TNNA40U6
52
0.5
102
99.99995%
V
TNNA50U6
86
0.5
82
99.99995%
V
