日本松下 LED型晶圆校准传感器 HD-T1

使用安全的红色LED作为光源，无需任何繁杂的安全措施。无需使用激光时必备的保护罩，在美国使用时不需要符合FDA标准。

检测头和控制器的总消耗电流为70mA以下。实现光电传感器同等的低功耗。

虽然使用红色LED作为光源，但仍然具有激光传感器同样的高性能，因此可实现高精度检测。

投、受光部一体型，无需繁琐的光轴调整。并且，检测距离及检测宽度可以覆盖30mm的广阔区域，可对应各种不同尺寸的晶圆。