测量原理
绝对测量法是指编码器通电时就可立即得到位置值并随时供后续信号处理电子电路读取。无需移动轴执行参考点回零操作。绝对位置信息来自一系列绝对码构成的光栅刻线。单独的增量刻轨信号通过细分生成位置值,同时也能生成供选用的增量信号。图示为带附加增量刻轨的绝对式编码光栅尺(例如LC 485)绝对
海德汉公司的光学扫描型光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线-光栅。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长度测量用的光栅尺基体为钢带。海德汉公司用特别开发的光刻工艺制造精密光栅。
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META
LLUR:抗污染的镀金层金属线,
? DIADUR:玻璃基体的超硬铬线(典型栅
? SUPRADUR相位光栅:光学三维平面格
? OPTODUR相位光栅:光学三维平面格栅
海德汉公司的光学扫描型光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线-光栅。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长度测量用的光栅尺基体为钢带。海德汉公司用特别开发的光刻工艺制造精密光栅。
? AURODUR:在镀金钢带上蚀刻线条,
典型栅距40 μm
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典型栅距20 μm
? DIADUR:玻璃基体的超硬铬线(典型栅
距20 μm)或玻璃基体的三维铬线格栅
(典型栅距8 μm)
? SUPRADUR相位光栅:光学三维平面格
栅线条,超强抗污能力,典型栅距不超
过8 μm
? OPTODUR相位光栅:光学三维平面格栅
线条,超高反光性能,典型栅距不超过
2 μm
这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅外,而且它刻制的光栅线条边缘清晰、均匀。再加上光电扫描法,这些边缘清晰的
刻线是输出高质量信号的关键。母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线机制造。
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