HEIDENHAIN 海德汉LC 100系列封闭式直线光栅尺 标准光栅尺外壳

光栅尺测量原理

海德汉公司的光学扫描型光栅尺或编码器的测量基准都是周期刻线－光栅。这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长度测量用的光栅尺基体为钢带。海德汉公司用特别开发的光刻工艺制造精密光栅。

? AURODUR：在镀金钢带上蚀刻线条，典型栅距40 μm

? META LLUR：抗污染的镀金层金属线，典型栅距20 μm

?DIADUR：玻璃基体的超硬铬线（典型栅距20 μm）或玻璃基体的三维铬线格栅（典型栅距8 μm）

? SUPRADUR相位光栅：光学三维平面格栅线条，超强抗污能力，典型栅距不超过8 μm

?OPTODUR相位光栅：光学三维平面格栅线条，超高反光性能，典型栅距不超过2 μm

这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅外，而且它刻制的光栅线条边缘清晰、均匀。再加上光电扫描法，这些边缘清晰的刻线是输出高质量信号的关键。