激光干涉仪

激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备，由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场，随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛，特别是在测量数控机床位置精度方面用途*为广泛。

激光干涉仪功能：

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差 修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。

激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平 行度、垂直度等形位误差。

激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。

激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量 元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。

激光干涉仪执行标准：

SJ6000激光干涉仪技术指标：

系统性能

? 测量方式：单频

? 稳频精度：0.05ppm

? 动态采集频率：50 kHz

? 预热时间：约6分钟

? 工作温度范围：(0~40)℃

? 环境温度范围：(0~40)℃，环境湿度：(0~95)%RH

? 存储温度范围：(-20~70)℃

环境补偿示值误差

? 空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

? 材料温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

? 空气湿度传感器：±6%RH (0~95) %RH

? 大气压力传感器：±0.1kPa

线性测量

? 测量距离：(0~40)m

? 测量精度：0.5ppm (0~40)℃

? 测量分辨力：1nm

? 测量*大速度：4m/s

角度测量

? 轴向量程：(0~15)m

? 测量范围：±10°

? 测量精度：±(0.04%R)″ (R为显示值，单位：″)

? 测量分辨力：0.1″

平面度测量

? 轴向量程：(0~15)m

? 测量范围：±1.5 mm

? 测量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

? 基板尺寸：180mm可调，360mm可调

测量分辨力：0.1μm

直线度测量

? 轴向量程：(0.1~4.0)m

? 测量范围：±3mm

? 测量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)

? 测量分辨力：0.01μm

垂直度测量

? 轴向量程：(0.1~3.0)m

测量范围：±3mm

? 测量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m)

? 测量分辨力：0.01μm/m

回转轴精度测量

? 角度测量范围：(0~360)°

? 测量精度：±1″

*高转速：10rpm

锂电池供电，蓝牙传输数据。