227

Setra 227型压力变送器专为高密度的模块式“Block”气体棒和面板设计，能够满足如今300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅11/8″，能节省宝贵的空间；结构坚固，是要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量的理想选择。与其他采用大体积封头腔室的产品不同，Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛光至5 Ra（*大7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实现无污染气体输送。

特性
·接液部件采用316 L VIM/VAR 不锈钢制造，
符合Semi F19/F20 标准
·出色的稳定性，避免停机
·抗电磁干扰/ 射频干扰，可防止误停机
·4-20mA 输出型获得不易燃认证，适用于潜在危险区域
·符合CE 标准要求
·符合RoHS 标准要求

应用
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具