CR系列泛半导体设备用机械手是韩国Cyborg Lab公司设计生产的产品,主要用于洁净室内大气环境下半导体硅片或LCD玻璃基板的水平搬运。韩国Cyborg Lab公司拥有15年以上的半导体用机械手产品设计与生产经验,产品质量稳定,性能可靠。CR系列硅片搬运机械手的主要特点如下:
? 灵活可配置的模块化设计
? 重复定位精度优于0.05mm
? 机身设计紧凑,占地面积小,满足净化室设备的使用要求
? 洁净度要求可达Class One
? 可根据客户要求进行定制设计
CR系列产品主要用于半导体硅片搬运、液晶面板搬运、LED硅片搬运、MEMS硅片搬运等领域,目前沈阳芯源、北京七星、上海新阳等客户已经选用。