敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测量的机床和系统
典型应用包括:
?半导体工业的测量和生产设备
?PCB电路板组装机
?超精密机床
?高精度机床
?测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备
?直接驱动
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