“方兴未艾的BSI图像传感器设计为应用材料公司带来了新的机遇,我们将为客户在这一快速增长的市场取得成功提供必要的技术。” 应用材料公司副总裁兼介质系统及模块事业部总经理Bill McClintock表示,“Optiva的低温工艺立足于我们快如闪电的Producer平台,这对于芯片制造商而言无疑是个好消息,因为BSI图像传感器的市场需求至2014年预计将达3亿只。”
先进图像传感器配有直接位于光敏二极管之上的微透镜,以提高每个像素的集光能力。Producer Optiva系统通过在微透镜上覆盖一层结实、透明的薄膜以减少反射和刮伤,并防止环境的影响,从而提升其性能。重要的是,Optiva系统是业界第一款能够在低于200°C的温度下实现超过95%的共形沉积的CVD系统,这对于传感器制造中所用的温度敏感型聚合物和黏合剂至关重要。
Applied Producer Optiva CVD系统
据市场研究机构 iSuppli的预测,在2014年75%的智能手机将配备BSI传感器,而在2010年这一比例仅为14%[ii]。此外,业内领先的制造商也正力图通过升级至300毫米硅片来提高工厂产量,此举不仅可以将每片硅片的传感器产量提高一倍以上,还可以使用最先进的芯片制造设备。
Applied Producer Optiva CVD系统还可用于沉积3D芯片封装中的硅通孔(TSV)共形隔离层。在这一应用中,低工艺温度对于保护将硅片粘合至临时载体的黏合剂至关重要。如欲了解更多有关该产品的信息,请访问http://www.appliedmaterials.com/technologies/library/producer-optiva。
关于应用材料公司
应用材料公司(纳斯达克:AMAT)是一家全球领先的高科技企业。应用材料公司的创新设备、服务和软件被广泛应用于先进半导体芯片、平板显示和太阳能光伏产品制造产业。我们的技术使智能手机、平板电视和太阳能面板等创新产品以更普及、更具价格优势的方式惠及全球商界和普通消费者。在应用材料公司,我们应用今天的创新去成就明天的产业。欲了解更多信息,请访问www.appliedmaterials.com。
[i] CVD:化学气相沉积
[ii] 资料来源:iSuppli公司在2010年9月3日的新闻稿《iPhone4促进BSI图像传感器在智能手机中的应用》