解决方案:将溅射系统由平面结构更改为旋转靶材可将靶材的利用率由30%有效提高至70%,从而节省了昂贵的原材料的使用。通过由纯钼制成的单片钼旋转靶材所完成的背接触钼沉积具有额外的益处:即无需使用昂贵的焊接材料将钼材料与不锈钢管相连接。此外,高达30 kW/m的较高的溅射能源也可在工艺中使用。这就造成了较高的热负载,而焊接型的靶材是无法承受这种热负载的:常用的焊接材料是铟,而该材料在156°C的时候就被熔化,因此钼靶材可排除出现剥落现象的风险。较高的减少能量同样也可实现较高的沉积率,并改善薄膜的特性,如提高电导率等。
MoNa单片钼质靶材和犬骨型靶材是为客户需要而专门制作的
产品应用:本品可应用在CIGS薄膜组件的生产过程中。
相关信息:MoNa单片钼质靶材和犬骨型靶材是为客户需要而专门制作的。同时,MoNa产品还可提供一种新式的材料合金,可有效提高产品转换率。