ITO导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃, 它采用磁控溅射沉积成膜技术, 以ITO 材料作为溅射靶材, 在玻璃基板上生成一层很薄的ITO 膜。这层ITO 膜同时具有良好的导电性和透光性, 适于制作透明显示电极, 是平板显示器生产的重要原材料之一。玻璃基板的厚度通常只有0.3~1.1mm, 它具有重量轻、透明度高、平整度高、有一定的机械硬度、容易切割加工等特点, 因此被广泛应用于平板显示器上。ITO 导电玻璃随着20世纪70 年代初LCD 显示器的兴起至今已经历了40 多年的历程, 并从过去只能生产高电阻、小尺寸、普通表面、黑白显示的产品, 发展到了现在能够生产低电阻、大尺寸、抛光表面、彩色显示的产品。
早期的ITO 导电玻璃是采用铟锡合金作为溅射靶材, 通过氧化反应而成膜的。此种靶材对溅射工艺控制有极其严格的要求, 尤其是氧气流量的稍许波动, 就可能形成氧化反应不充分, 而使膜层透过率和蚀刻性能变差; 或因氧气流量较大, 而造成靶面" 中毒", 使溅射效率下降, 从而使膜层变薄、电阻升高。鉴于此, 材料商开发出了氧化靶, 即将高纯度的氧化铟和氧化锡超细粉末, 按一定比例充分混合好, 再采用粉末冶金工艺烧结成固体靶材。随着制作工艺的不断改进, ITO 靶材密度逐步提高, 现在已达到99.5%以上, 基本满足了ITO 导电玻璃的需要。ITO 导电玻璃的性能指标主要有基板玻璃的外形尺寸、表面电阻( 或方块电阻) 、透光率、膜层厚度、蚀刻性能和可靠性等。
ITO导电玻璃按电阻分,分为高电阻玻璃(电阻在150~500欧姆)、普通玻璃(电阻在60~150欧姆)、低电阻玻璃(电阻小于60欧姆)。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰;低电阻玻璃一般用于STN、TFT液晶显示器和透明线路板。ITO导电玻璃按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN、TFT液晶显示器产品。ITO导电玻璃按平整度分,分为抛光玻璃和普通玻璃。
二、TP-ITO导电玻璃
触摸屏虽然不是显示器件, 但作为显示器件输入功能组件, 其应用范围越来越广泛,发展迅速, 已成为当今显示器不可或缺的部件。随着触摸屏产业不断地发展壮大,TP-LCD导电玻璃产业的发展也水涨船高。