昭信：以技术为支撑 推进MOCVD设备国产化

网讯 他身为华中科技大学机械科学与工程学院的教授，在半导体工艺设备设计与制造等方面造诣颇深；他自认为是MOCVD设备行业的“后来者”，却带领研发团队早已展开了创新研发之路，并拥有了多项MOCVD核心专*；他是国产MOCVD设备产业化的推动者，率领企业将国产MOCVD设备成功交付企业使用......他就是广东昭信半导体装备制造有限公司(以下简称“昭信”)的总经理甘志银先生,将与大家分享了他在MOCVD设备国产化过程中摸索出的很多值得业界借鉴的经验。

设备，实际上，包括我在内的整个研发团队都是来自于华中科技大学。

企业就很困难。

前景很好，但是市场需要一步步推进，成本需要一步步消化。包括MOCVD设备在内，2010-2011年一下从300多台增长到700多台，增长速度过快导致目前产业发展的困局。另外，LED应用也在不断地推动这个产业往前进，并在推的过程中由于企业太多，鱼目混杂，大家会考虑 LED产品是不是好产品。

　　尤其MOCVD设备企业，风险很大的一块就是技术的跟风性。从2005年国外30片机，2007年50片机、55片机，然后又到69片机，企业疲于奔命不断的跟风。由于企业不断烦的跟风就造成两个不平等，一个是政府的补贴造成企业之间的不平等，一个是市场的设备更新造成了企业发展的不平等。后来投资者用同样的钱甚至用更少的钱买了更大的产能，造成行业里看起来买了很多台设备，但是很多台设备都是2007年、 2009年以前淘汰的废品。对于MOCVD设备来说，国内MOCVD设备从统计数字看好象过剩，实际上不是过剩，只是大家都在思考LED整个产业到底应该怎么走，现在还没有形成对它强烈的市场需求，这也正是我们所面临的发展困局。

记者：您可以说是技术出身，您客观地评价一下目前国产MOCVD设备的技术水平到底到达了什么地步？

　　甘志银：我们从2009年做MOCVD，当时做生产研模只有一家，到2010年、2011年做MOCVD的非常多，我只能评价我自己。通过这几年发展，我们发展MOCVD的技术跟国外没有什么差别，我们所开发出来的MOCVD技术不比他们差，甚至很多方面还比他们强。我们的设备实际上在很多情况下表现的比国外设备好，包括设备在生产线使用的情况，也是呈现这样一个现实。现在企业对国产设备认知的存在心里误区，尤其在学术群体当中MOCVD设备是个皇冠，觉得国内企业不太可能做好。其实企业存在疑虑很正常，随着我们企业在市场上投放更多MOCVD设备样板工程，这个疑虑会逐渐打消。