网讯 外延片的生产制作过程是非常复杂,展完外延片,接下来就在每张外延片随意抽取九点做测试,符合要求的就是良品,其它为不良品(电压偏差很大,波长偏短或偏长等)。良品的外延片就要开始做电极(P极,N极),接下来就用激光切割外延片,然后百分百分捡,根据不同的电压,波长,亮度进行全自动化分检,也就是形成led晶片(方片)。然后还要进行目测,把有一点缺陷或者电极有磨损的,分捡出来,这些就是后面的散晶。此时在蓝膜上有不符合正常出货要求的晶片,也就自然成了边片或毛片等。不良品的外延片(主要是有一些参数不符合要求),就不用来做方片,就直接做电极(P极,N极),也不做分检了,也就是目前市场上的
LED大圆片(这里面也有好东西,如方片等)。
:衬底材料
产业技术发展的基石。不同的衬底材料,需要不同的外延生长技术、芯片加工技术和器件封装技术,衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线。衬底材料的选择主要取决于以下九个方面:
1,结构特性好,外延材料与衬底的晶体结构相同或相近、晶格常数失配度小、结晶性能好、缺陷密度小;
2,界面特性好,有利于外延材料成核且黏附性强;
3,化学稳定性好,在外延生长的温度和气氛中不容易分解和腐蚀;
4,热学性能好,包括导热性好和热失配度小;
5,导电性好,能制成上下结构;
6,光学性能好,制作的器件所发出的光被衬底吸收小;
7,机械性能好,器件容易加工,包括减薄、抛光和切割等;
8,价格低廉;
9,大尺寸,一般要求直径不小于2英吋。
衬底的选择要同时满足以上九个方面是非常困难的。所以,目前只能通过外延生长技术的变更和器件加工工艺的调整来适应不同衬底上的半导体发光器件的研发和生产。用于氮化镓研究的衬底材料比较多,但是能用于生产的衬底目前只有三种,即蓝宝石Al2O3和碳化硅SiC衬底以及Si衬底。