MEMS加速度传感器研究项目获78万元立项

日前，从国家自然科学基金委员会获悉，沈阳仪表研究院与沈阳工业大学联合申报的“高固有频率纳米膜压阻加速度传感器研究”项目获得立项批复，项目总经费78万元，执行年限2014年1月至2017年12月。

　　该获批立项项目，将基于纳米功能材料设计一种带有主梁和超薄敏感微梁的MEMS加速度传感器。利用纳米膜压阻微梁之超常的机械特性和良好的压阻特性，提高灵敏度，改善温度特性；通过对该敏感结构之主梁和微梁的合理设计，解决加速度传感器中普遍存在的谐振频率与灵敏度相互制约的难题，达到均衡提高固有谐振频率和灵敏度的目的；突破微梁加工和芯片钝化、封装等关键技术，研制出新型加速度传感器样品，并最终验证这种压阻加速度传感器的可行性及优势。该项目的开展可望在隧道压阻效应、纳米复合膜微梁力学特性以及新型加速度传感器技术等方面的研究中获得创新性成果。在传感技术日益受到高度重视的背景下，这些成果将具有广阔的应用前景。