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核心提示：
项目简介 本发明涉及测量气体流量的集成化的半导体传感器集成电路。 测量气体流量的传感器通常采用已有七十年历史的“热丝”装置，体积小，产量低，价格高，功耗大。于是出现了半导体传感器。但是，目前已有半导体型流量传感器，采用双极型结构。没有与讯号处理电路做在同一芯片上。与目前成熟的大规模集成电路主流工艺MOS工艺不相一致，因而不利于制成集成化的、带有讯号处理电路的稳定的半导体传感器。不利于低成本大批量生产。 本发明的目的是提供一种与目前大规模集成电路主流工艺（N阱）CMOS完全兼容的，带有讯号处理电路的稳定的气体流量传感器。 采用NMOS作差分放大器，CMOS作与处理用的运算放大器，使元件数目减少。采用N阱CMOS工艺可以制备这种集成的流量传感器而不需要任何附加工艺步骤，从而实现了本发明的目的。 单位名称 东南大学科技处 地址 南京市四牌楼2号五四楼一楼 邮政编码 210096 联系人 未知 电话 3792652 3792261 电子邮件 未知 网址 未知 所属地区 江苏省
