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Whiteknight白骑士PEM 050电动计量泵，Whiteknight隔膜式计量泵
White Knight 计量泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用，以确保一定浓度的化学混合物，并且允许在原位直接在头部混合调节流速。 泵是在高纯化学品的适用分配补充，混合，计量等应用，以及清洗CVD设备和光刻。 他们是理想的光致抗蚀剂，蚀刻和清洗工艺，食人鱼过氧化混合物扣球，和之前推出基板化学混合物进入处理槽等混合。
PEM 050电动计量泵
PEM 050电动计量仪特性
PEM050泵有TeflonPTFE液体通路可准确地分配1至50毫升的腐蚀性液体为补充、混合、计量、和强化的程序。 使用TeflonPTFE活动的膜片、较高的出口压力可以安全可靠的输送化学品。位置控制阀确保精度减缓脉冲,特别是单向阀。 PEM050泵可提供多达5个出液口,以编程系统和逻辑独立控制。
特点与优点
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·电控可调式行程
·配液量高达50毫升
·高精度泵具有高达±0.01%重复性
·允许60-80psi压力
·可编程序系统逻辑
·2到6接口配置
·完全可调的行程速度
·安全、无泄漏操作，不需要维护
·无暴露的金属防止腐蚀和污染
·高纯度化学品完全包揽Teflon?PTFE流体通道
·PP外壳的Teflon?PTFE材质的旋转膜片
·易于安装和检查
·嵌入或外挂的组件易于安装和维护
·易于安装在任意方向
·洁净室内组装，测试及包装
·泄漏检测口
·自吸式
·占用空间小
· 极限小的保持量
·正面的进/出口阀可防止气体通过
技术参数
泵型号 |
PEM050 |
液分配 |
1-50 ml per stroke |
测量重复度 |
± 0.01% (Full Scale) |
每分钟循环次数 |
≤ 6 CPM |
每个循环内空气的消耗量 |
1-3 SCFM |
流通管路材质 |
PTFE |
阀门控制驱动气体的压力 |
4.14 - 5.86 Bar |
排液压力 |
5.51 Bar (80 psi) |
温度范围 |
≤ 100°C (212°F) |
重量 |
1.6 kg (3.5 lb) |
吸升高度 |
4.6 m (15 ft) |
漏液检测 |
Valve Position Sensing |
通信 |
Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA) |
