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[VIP第5年] 指数:1
安川机器人:
MOTOMAN-SEMISTAR-VD95D
特征:
特征:
适用于真空环境内*大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人！
双腕玻璃基板搬运机器人
负载：95KG
动作范围：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬运、洁净室
特点：
大动作范围：*大搬运尺寸达730*920mm双腕玻璃基板搬运机器人。
手臂采用连杆机构实现高钢性。
采用真空内传送带驱动实现低放出气体性能。
手臂可内置基板传感器用配线。
*1：依据JIS B8432标准
*2：洁净度依据ISO-14644标准。在0.4m/s以上的向下流风速环境下，来确保工件搬运面以上洁净度。
*3：根据用途、作业形式会有所不同。
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了解更多请咨询：
陈工 13918763764
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