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[VIP第3年] 指数:4
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NTS系列机器人
NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎**的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。
NTS系列机器人规格
| 项目 | 标准 | 选项 | ||
|---|---|---|---|---|
| 型号 | NTS10 | NTS20 | - | |
| 构造 | 水平多关节型 | - | ||
| 臂 | 单手臂 | 双手臂 | - | |
| 自由度 (轴) | 4 | 5 | - | |
| 动作范围 | θ1轴 (旋转JT2) (°) | 340 | - | |
| Z轴 (上下JT3) (㎜) | 470 | - | ||
| θ2轴 (旋转JT4) (°) | 340 | - | ||
| H1轴 (旋转JT6)(°) | 340 | - | ||
| H2轴 (回転JT7) (°) | - | 340 | - | |
| *大臂展 (mm) | 1,066 | - | ||
| 重复性 (mm)1 | ±0.1 (晶圆中心) | - | ||
| 无尘度2 | ISO1级 | - | ||
| 抓手规格3 | - | - | 边缘夹持式 / 真空吸附式 | |
| 控制柜 | D60 | 示教器 | ||
| 分离电缆 (1-5m)4 | 操作盒 | |||
| 软件 | 标准软件 | KRET | ||
| KMTerm | KR3D | |||
| KSUtility Lite | KSUtility | |||
| 手册 | 使用说明书 | - | ||
| 通信说明书 | - | |||
| 通用软件 (K-Fast) 导入说明书 | - | |||
| 否则 | - | 校准器 | ||
| - | 测绘传感器 | |||
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